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半導體陶瓷材料是如何通過涂層來提升性能的

文章出處:http://www.kk-oa.com/wenda/773.html人氣:153時間:2021-12-18

    在陶瓷表面通過技術手段附著上一層特殊涂層后,使半導體陶瓷的性能發生變化,目前這種工藝在半導體制品生產過程中已經非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對于靜電夾盤,噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層,這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕緣體的電氣規格會產生靜電引力,從而在真空過程中將晶片固定到位。

氧化鋁陶瓷手指

半導體陶瓷手指

     然而,ESC技術最近在涂料中出現了一種全新的應用。為了保護電子層(絕緣體和電極)在晶圓經過時不受磨損,卡盤的頂層采用了類金剛石碳膜。在氧化鋁陶瓷表面的持續磨損開始損壞電子層之前,ESC可以承受大約80000次晶圓通過。此時,電子穩定控制系統被送去進行翻新。然而,在ESC上涂覆類金剛石碳(用作犧牲磨損層)更具成本效益(無論是在其原始制造后還是在交付翻新時),這樣就不會磨損底層電子層。電子穩定控制系統必須盡可能頻繁地進行翻新,因此平均維修間隔時間(MTBM)相同,但電子穩定控制系統電子層受到保護,卡盤的使用壽命更長。由于類金剛石碳需要保持卡盤的電氣性能,因此該層的電阻率必須精確控制到一個取決于ESC規范的值。翻新公司在確保半導體制造商的這些價值方面擁有高度的專業知識,因此,即使原裝卡盤最初不是設計有類金剛石碳涂層,涂層仍然可以在翻新步驟中添加。

     還可提供多種其他涂料,每種涂料都具有不同的性能屬性。這些包括具有強疏水性的抗濕涂層;99.9%的氧化釔涂層具有很強的抗等離子體性能;電荷耗散鈦鎂涂層,其性能等級可根據應用進行調整;和CVD金剛石涂層,用于CMP調節劑,也用于泵密封件等高磨損應用。

 

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