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AlN氮化鋁陶瓷結構件
AlN氮化鋁陶瓷結構件常常被用在半導體、光電、通訊等行業中,主要用它為電子元器件散熱。AlN氮化鋁陶瓷具有良好的絕緣性以及高熱導率,其熱導率超過170,有的甚至達到了240以上。
6寸AlN氮化鋁晶圓托盤
12英寸氮化鋁晶圓加熱盤
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